壓力傳感器精度高，要求誤差合理，進(jìn)行壓力傳感器的誤差補(bǔ)償是其應(yīng)用的關(guān)鍵。壓力傳感器主要有偏移量誤差、靈敏度誤差、線性誤差和滯后誤差，本文將介紹這四種誤差產(chǎn)生的機(jī)理和對測試結(jié)果的影響，同時將介紹為提高測量精度的壓力標(biāo)定方法以及應(yīng)用實例。

目前市場上傳感器種類豐富多樣，這使得設(shè)計工程師可以選擇系統(tǒng)所需的壓力傳感器。這些傳感器既包括最基本的變換器，也包括更為復(fù)雜的帶有片上電路的高集成度傳感器。由于存在這些差異，設(shè)計工程師必須盡可能夠補(bǔ)償壓力傳感器的測量誤差，這是保證傳感器滿足設(shè)計和應(yīng)用要求的重要步驟。在某些情況下，補(bǔ)償還能提高傳感器在應(yīng)用中的整體性能。

傳感器簡單的數(shù)學(xué)模型即為傳遞函數(shù)。該模型可在整個標(biāo)定過程中進(jìn)行優(yōu)化，并且模型的成熟度將隨標(biāo)定點的增加而增加。

從計量學(xué)的角度看，測量誤差具有相當(dāng)嚴(yán)格的定義：它表征了測量壓力與實際壓力之間的差異。而通常無法直接得到實際壓力，但可以通過采用適當(dāng)?shù)膲毫?biāo)準(zhǔn)加以估計，計量人員通常采用那些精度比被測設(shè)備高出至少 10 倍的儀器作為測量標(biāo)準(zhǔn)。

由于未經(jīng)標(biāo)定的系統(tǒng)只能使用典型的靈敏度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力，測得的壓力的誤差。這種未經(jīng)標(biāo)定的初始誤差由以下幾個部分組成：

偏移量誤差

由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

靈敏度誤差

產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。

線性誤差

這是一個對初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線。

滯后誤差

在大多數(shù)情形中，滯后誤差*可以忽略不計，因為硅片具有很高的機(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

標(biāo)定可消除或極大地減小這些誤差，而補(bǔ)償技術(shù)通常要求確定系統(tǒng)實際傳遞函數(shù)的參數(shù)，而不是簡單的使用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補(bǔ)償過程中采用，而軟件則能更靈活地實現(xiàn)這種誤差補(bǔ)償工作。

賀德克傳感器常用型號：

賀德克傳感器EVS3108-H-0020-000

賀德克傳感器HDA4840-A-600-424（6m）

賀德克充氮工具FPU-1-250F2.5G11A3K

賀德克傳感器EDS3446-3-0400-000+ZBM3000

賀德克傳感器ETS388-5-150-000+TFP100+ZBE03+ZBE08+ZBM300

賀德克換向閥WSM06020ZR-01-C-N-24DG（含線圈）

賀德克充氣裝置FPU-1-350/025F2,5G5A3K

賀德克傳感器HDA4744-B-100-000

賀德克傳感器HDA4840-A-400-424 線長15米

賀德克傳感器EDS3446-1-0250-Y00

賀德克流量開關(guān)HFS2155-2S-0015-0045-7-B-1-000

賀德克壓差開關(guān)VD5D0/L-24 01/11  24VDC

賀德克傳感器HDA3745-B-250-000已停產(chǎn)，新款 HDA4745-B-250-000

賀德克傳感器ETS3866-3-000-000

賀德克液位計FSK-254-2.5/C/-/12 3112303

賀德克充氮工具FPU-1-250F2，5G11A3K

賀德克傳感器HDA4744-A-016-000

賀德克傳感器HDA4744-A-400-000+ZBE02

賀德克傳感器EDS3348-5-0010-000-ZBE08-5

賀德克傳感器HDA3745-A-250-000升級HDA4745-A-250-000

賀德克傳感器EDS345-1-400-000

賀德克傳感器EDS346-3-400-000+ZEB01+ZBM300

賀德克傳感器HDA3840-A-350-124(10米）升級HDA4840-A-350-424（10米）

賀德克流量開關(guān)HFS 2135-1W-02，0-07，0-7-B-1-000